No recente "SSLCHINA 2021: Mini/Micro LED Technology Industry Application Forum", Hu Jianzheng, Diretor de Tecnologia de Processos MOCVD da China Micro Semiconductor Equipment (Shanghai) Co., Ltd., compartilhou os equipamentos Prismo UniMax® MOCVD usados para produção de MiniLED azul e verde pela China Micro Semiconductors (Shanghai) Co., Ltd.. Os últimos acontecimentos.
Hu Jianzheng introduziu que, em comparação com os LEDs tradicionais usados para iluminação, os wafers epitaxiais Mini/Micro LED têm requisitos mais rigorosos para uniformidade de comprimento de onda e número de partículas. É necessário desenvolver uma nova plataforma MOCVD para melhorar a uniformidade do comprimento de onda dos wafers epitaxiais e reduzir as partículas. Quantidade, de modo a realizar a aplicação comercial do Mini/Micro LED.
A mais recente plataforma MOCVD Prismo UniMax® desenvolvida pela China Microelectronics que pode ser usada para a produção em massa de MiniLEDs, através do ajuste fino do campo de temperatura local e otimização do campo de fluxo, os LEDs verde-azul cultivados em substratos de 4" e 6" alcançaram bons resultados.". Sob a condição de configuração de 41×4", a uniformidade do comprimento de onda dentro e entre o chip LED azul também é muito alta, respectivamente, 0,71 nm e 0,87 nm (1σ); sob a condição de configuração de 10×6", o comprimento de onda do chip LED azul é uniforme O desempenho atinge 0,84 nm (1σ), e a diferença máxima e mínima no comprimento de onda da placa quadrada de 100mm×100mm é tão baixa quanto 2,4nm. Para o LED verde de 6 polegadas com comprimento de onda médio de 530nm, a uniformidade de comprimento de onda on-chip é de 1,04nm (1σ), e a diferença máxima e mínima no comprimento de onda do chip quadrado de 100mm×100mm é de apenas 4,6nm.
De acordo com o site oficial da China Microelectronics, em termos de configuração, o equipamento Prismo UniMax® MOCVD tem até 4 câmaras de reação, que podem processar 108 wafers epitaxias de 4 polegadas ou 40 de alto desempenho à base de nitreto azul-enécnico miniLED ao mesmo tempo. O ajuste pode ser estendido para processar 164 wafers epitaxiais de 4 polegadas ou 72 de 6 polegadas ao mesmo tempo, e sua capacidade de processo também pode ser estendida para cultivar wafers epitaxiais de 8 polegadas. Além disso, o equipamento é equipado com uma bandeja de grafite de 785 mm de grande diâmetro, o que melhora muito a capacidade de produção do equipamento e reduz efetivamente o custo de produção de wafers epitaxias MiniLED.
É relatado que o equipamento Prismo UniMax® MOCVD foi lançado oficialmente em junho deste ano, e é usado principalmente para a produção em massa de wafers epitaxias MiniLED baseados em GaN. Em 9 de dezembro, a China Microelectronics anunciou que a encomenda de equipamentos Prismo UniMax® MOCVD ultrapassou 100 cavidades.
Entende-se que a China Micro Semiconductor Equipment Co., Ltd. foi fundada em 2004 e está sediada em Xangai. Em 2019, foi listada no Conselho de Inovação em Ciência e Tecnologia da Bolsa de Valores de Xangai. Atua principalmente na pesquisa e desenvolvimento, produção e venda de equipamentos semicondutores de ponta e equipamentos pan-semicondutores. Distribuição de produtos da empresa Há: equipamentos de gravura CCP, equipamentos de gravura ICP, equipamentos de gravura de silício profundo, equipamentos MOCVD, equipamentos de purificação VOC.
Entre eles, os equipamentos MOCVD da série Prismo desenvolvidos pela China Microelectronics podem ser amplamente utilizados na produção de vários dispositivos baseados em nitretos do grupo III, incluindo LEDs azul-esverdeados, LEDs ultravioletas profundos e dispositivos de energia. Atualmente, os equipamentos MOCVD da China Micro foram colocados em produção em massa nas principais linhas de produção de LED da indústria.
Em 2020, a China Microelectronics alcançou receita operacional de 2,273 bilhões de yuans, um aumento de 16,76% em ano. o lucro líquido atribuível aos acionistas das companhias listadas foi de 492 milhões de yuans, um aumento anual de 161,02%. No primeiro semestre de 2021, o lucro operacional da China Micro foi de 1,339 bilhão de yuans, um aumento de 36,82% em ano. o lucro líquido atribuível aos acionistas das companhias listadas foi de 397 milhões de yuans, um aumento de 233,17% em relação ao ano anterior.
